加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化 國(guó)內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器研發(fā)中試線成功通線

6月30日，據(jù)國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心官微消息，由國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心建設(shè)的國(guó)內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線成功通線。

該中試線以國(guó)產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動(dòng)化量測(cè)等先進(jìn)傳感器和晶圓級(jí)3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時(shí)為國(guó)產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。(記者 石飛月)

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